超高真空系统球阀选型方法

用真空泵抽真空室时，先抽走的是容积中的大气(这部分气体很快被抽走)。然后是材料表面解吸的气体、材料内部向表面扩散出来的气体、以及通过器壁渗透到真空中的气体。解吸及扩散到表面再解吸气体的衰减速率非常缓慢，需要时间很长。一台金属密封的不烘烤的真空系统，计算表明，要达到超高真空(低于10 ^-7Pa)所需大约10^8h，可见不采用烘烤技术想得到超高真空是很困难的。真空球阀为直通式,靠球面密封,因而既能用在真空状态下,也能在低压状态下使用,并可任意位置安装达到接通或切断真空系统管道路中的介质流。应用于真空、乳制品、酒业、生物工程、食品、制药、饮料、化妆品及化工领域。可选配反馈信号装置及电气阀门定位器
金属材料都是通过熔炼和铸造得到的，在此过程中，空气中的氢、氧、氮和碳的氧化物不同程度地溶于材料之中。存放材料时，其表面还会吸附大量气体，主要是水蒸气、氧、氮、碳的氧化物等。材料加工过程中的再污染及其本身的非致密性引起的渗透，这些因素就构成了真空中的主要气源。高真空(压力)球阀用于接通或切断真空(压力) 系统管路中的介质流。高真空球阀应用于真空、乳制品、酒业、生物工程、食品、制药、饮料、化妆品及化工领域。真空球阀的型式、性能参数：真空球阀有手动、电动和气动三种型式。

 超高真空系统球阀选型方法主要零件材料
阀体、阀盖、阀杆：不锈钢
密封件：四氟乙烯、丁腈橡胶、氟橡胶、PPL。

高真空球阀主要技术性能
阀门漏率：≤1.3×10-4 Pa.L/S
适用温度： -30~+150℃;-30~+150℃(PPL密封)
使用压力范围(Pa)
活套法兰：(GB6070、JB919)：0.6×106 ~1.3×10-4
焊接法兰(GB6070、JB919)：1.6×106 ~1.3×10-4
快卸法兰(GB4982)：0.1×106 ~1.3×10-4
螺纹连接：1.6×106 ~1.3×10-4

 超高真空系统球阀选型方法在真空系统中的作用：
1.开关气路，当阀1和阀4关闭，阀2打开时，机械真空泵Ⅲ对容器I抽真空，气流流经预真空抽气管路；当阀2关闭，阀4打开时，机械泵可单独对扩散泵抽真空；当阀1和阀4同时打开时，扩散泵和机械泵可同时工作，对容器进行抽空，此时气流流经扩散泵。可见，阀门在这种操作中的作用是开关气路，改变气流的流经路线。

2.控制气流大小，调节真空度在图1中，调节阀1的阀盖开启角度，即可调节流经管路的气流量大小；关闭阀2和阀4，通过放气阀3可以给机械泵Ⅲ的入口放成大气；通过放气阀5可以调节容器内的真空度。
 
3.定量充气，在玻璃阀的柱塞上有个一定体积的小洞，当小洞转向右边和高压气瓶连通时，小洞中就可充满高压气体；当它转向左边和真空容器连通时，就把该体积的高压气体放进容器中去，这样就起到了定量充气的作用。

 超高真空系统球阀选型方法
真空阀门的种类繁多，通常按阀门的职能、结构型式、驱动方式、材料和用途进行分类。

超高真空所需要的材料，除满足真空材料一般要求外，还应满足下列要求：

①在烘烤温度下，材料不应该丧失其机械性能;壳体材料能承受外部大气压力。一般低熔 点金属和软玻璃满足不了这种要求。

②材料在烘烤温度下蒸汽压要低。

③材料的渗透气体量不能超过允许值。

④材料加热时不易变形。

⑤材料表面容易抛光。

 超高真空系统球阀选型方法从这些要求出发，适于超高真空中用的通用材料有：

不锈钢——超高真空系统中主要用材，常用于做壳体、管道、法兰以及各种真空元件。我国超高真空系统常用材料是1Cr18Ni9Ti，美国多用304不锈钢，其次还有304L、316、316L、 321、347等;英国多用347;其它欧洲各国常用316不锈钢。不锈钢材质很好，但采用焊接工艺不当，亦会造成晶间腐蚀、热裂缝、气孔、奥氏体焊缝脆化等缺陷，影响壳体的气密性。资料[59]中详细分析了这些缺陷产生的原因及消除方法。