新创纳电子纳米超纯水用氮封阀装置应用

氮封装置由快速泄放阀及微压调节阀两大部分组成，而快速泄放阀由压力控制器及单座切断阀组成，当储罐内压力升高至设定压力时，快速泄放阀迅速开启，将罐内多余压力泄放。微压调节阀是在储罐内压力降低时，开启阀门，向罐内充注氮气。因微压调节阀必须使用在压力为0.1Mpa压力以下，现场N2压力较高，必须安装压力调节阀将压力降低至0.1Mpa以下才可使用。压力可按要求分段设定，从0.5Kpa至60 Kpa以下。

氮封装置的供（泄）氮压力设定方便，且可在连续生产的条件下进行；氮气压力设定范围广，低至0.5Kpa（50mm.w.c）,高至Kpa，比值达132倍，压力检测膜片有效面积大，设定弹簧刚度小，动作极灵敏。

供氮压力调整：在微压调节阀压力调节范围内选定一设定值如1Kpa（100mm.w.c）,通过调节调整螺丝2以改变弹簧3的预压缩（拉伸）量来达到；

泄氮压力调整：在快速泄放阀在的压力控制器部分，通过调整座3，改变弹簧4预压缩量达到。一般为避免氮封装置启闭频繁，泄氮设定值应远离供氮压力值，如2Kpa（200mm.w.c），呼吸阀高定值调整：在上述两设定值调整好后，为避免呼吸阀启闭频繁，呼吸阀设定值应大于泄压设定值。

新创纳电子纳米超纯水用氮封阀装置应用

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种超纯水用氮封装置，包括超纯水水箱、压力开关、出水管路、进水管路和常态氮气补充管路，所述超纯水水箱上安装有压力开关、出水管路和进水管路，所述压力开关位于液面上方，所述出水管路和进水管路位于液面下方；所述常态氮气补充管路共两路气路；所述超纯水水箱与液位计连通，所述液位计的上半部分与下半部分均与超纯水水箱连接；所述液位计内插设有下端没于液面下方的可调正压管；所述常态氮气补充管路的一路气路与超纯水水箱连接，与所述超纯水水箱连接的常态氮气补充管路的气路上安装有快速电磁阀；所述常态氮气补充管路的另一路气路与可调正压管连接，与可调正压管连接的所述常态氮气补充管路的气路上安装有减压阀；所述超纯水水箱上固定连接安全阀，所述安全阀位于液面上方。

作为本发明的一种优选技术方案，上述液位计上固定连接有一对连接法兰，一个连接法兰固定安装于液位计的上半部分，另一个连接法兰固定安装于液位计的下半部分，所述超纯水水箱的外部与一对连接法兰对应的位置处也各自安装有一个连接法兰，所述液

位计与超纯水水箱通过连接法兰密封连接。超纯水氮封水箱是将一定量的氮气充入密封的水箱内，水箱内氮气压力不大于80Kpa，氮气是惰性气体能防止CO2等其它物质溶入水中影响水质，保证水箱内的水不受二次污染而导致水质下降。

浙江新创纳电子科技有限公司是一家专门致力于电子级纳米磨料和抛光液技术开发、生产、销售和服务的高科技企业。公司在我国电子级纳米磨料依赖进口的形势下，根据国家的战略部署，在中科院上海微系统与信息技术研究所与海宁市人民政府战略合作协议框架下成立。目前主要从事电子级二氧化硅纳米磨料和抛光液的技术开发、生产、销售和服务。

新创纳公司建有*电子级磨料和抛光液生产线，拥有完整的磨料和抛光液制备、检测、抛光验证系统，是目前中国技术电子级胶体二氧化硅、蓝宝石抛光液和硅片抛光液供应商，产品质量和技术能力得到了国内外公司的认可。经过一期和二期的建设，公司现在已经具备年产一万多吨的电子级硅溶胶和抛光液的生产能力，公司研发和生产的电子级硅溶胶、蓝宝石抛光液、金属抛光液、硅片抛光液和碳化硅抛光液已成功应用与数十家电子和光电子行业的公司，成功替代了相应的进口产品。

本项目团队成员在硅溶胶、包括磨料的制备、硅片抛光液、氧化硅抛光液、相变材料抛光液、金属抛光液、高纯硅溶胶、大粒径硅溶胶、酸性硅溶胶等。

以新创纳公司为依托的纳米电子材料和器件工程中心较好地结合了中科院上海微系统与信息技术研究所和嘉兴市政府的资源，目前已有较好的研发平台。并且与美国应用材料公司（Applied Materials）建立了联合实验室，共享仪器设备，共同开发碳化硅(SiC)和大硅片等集成电路抛光液。

新创纳电子纳米超纯水用氮封阀装置应用超纯水设备

微压调节阀压力调节范围内选定一设定值 如：3Kpa。

泄氮设定值的设定应远离供氮压力值，如：8Kpa。

具体压力的设定值要根据纯水系统的产水量和水箱容量大小来确定选择。

氮气 (N2)的纯度为99.999％以上。

作为本发明的一种优选技术方案，上述快速电磁阀的型号为dmf-zm-25。

作为本发明的一种优选技术方案，上述减压阀的型号为133l-dn50。

新创纳电子纳米超纯水用氮封阀装置应用与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型中通过液位计中的水量动态调节氮封的液面高度，根据超纯水水箱内部液面的高度来动态控制快速电磁阀和减压阀向超纯水水箱内部补充氮气，确保超纯水水箱里面始终充有正压的氮气。本实用新型中液位计的直径小，所以对压力反应灵敏度高，所以既不会导致过量补充氮气，也不会导致超纯水溢流；此外本实用新型的氮封装置设备简单，安装简单，使用更加方便。

.以上的，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

压力可按要求分段设定，从0.5Kpa至60 Kpa以下。

微压调节阀压力调节范围内选定一设定值 如：3Kpa。

泄氮设定值的设定应远离供氮压力值，如：8Kpa。

具体压力的设定值要根据纯水系统的产水量和水箱容量大小来确定选择。

氮气 (N2)的纯度为99.99％。

原水箱→原水泵→机械过滤器→活性炭过滤器→阻垢剂装置→保安过滤器→一级高压泵→一级反渗透装置→一级 RO 水箱→二级高压泵混→二级反渗透装置→二级 RO 水箱→EDI 增压泵→紫外线杀菌器→EDI 前置过滤器→EDI 装置→氮封水箱→TOC 杀菌器→抛光混床→微孔过滤→用水点

五、新创纳电子纳米超纯水用氮封阀装置应用安装注意事项

（1）安装前，检查整机零件是否缺损与松动，对管道应进行清洗，介质流向应与阀体上的箭头指向一致。

（2）为便于现场维护与操作，阀四周应留有适当空间与设置旁路手动阀，阀组安装方案。

（3阀门应正立垂直安装在水平管道上，阀体与管道的法尘连接，要注意同轴度，并应安装在环境温度不超过-25～55℃的场合使用。